Impianti Sputtering & Evaporazione Termica
Le linee TECNOMET COMBI e COMBIMET includono tutti gli impianti combinati (Sputtering & Evaporazione Termica), sia standard sia customizzati in accordo alle specifiche richieste dal cliente.
Realizziamo sia impianti verticali a doppia porta (MV e MC) sia impianti orizzontali con carrelli (MO).
Possibilità di automazione tramite l'utilizzo di Robot per il carico / scarico di satelliti, barre o pezzi.
Alimentatori DC Sputtering standard o Pulsati (da 20 kW e 60 kW), Sistema Criogenico, PECVD e molti altri accessori disponibili.
Per scaricare i nostri cataloghi clicca qui
eva
eva