Equipos de Sputtering y Evaporación Térmica
Las líneas TECNOMET COMBI y COMBIMET incluyen todos los equipos combinados (Sputtering y Evaporación Térmica), tanto estándar como personalizados según las solicitudes específicas del cliente..
Fabricamos tanto equipos verticales de doble puerta (MV y MC) como equipos horizontales con carros (MO).
Posibilidad de automatización mediante Robot para carga/descarga de satélites, barras o piezas.
Tenemos disponibles fuentes de alimentación de Sputtering CC estándar o pulsada (de 20 kW y 60 kW), sistema criogénico, PECVD y muchos otros accesorios.
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